浅沟槽隔离的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310753728.7

申请日：

2013-12-31

公开(公告)号：

CN103730404A

公开(公告)日：

2014-04-16

发明(设计)人：

曾绍海

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	授权	授权
2014-04-16	公开	公开
2016-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101653364782 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013107537287 申请日:20131231

共 50 条

[41]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

郭国超 .

中国专利 :CN101930941A ,2010-12-29

[42]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104078411A ,2014-10-01

[43]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘明源 ;

郑春生 ;

蔡明 .

中国专利 :CN101459116B ,2009-06-17

[44]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN101752291B ,2010-06-23

[45]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

黄鹏 ;

李俊 .

中国专利 :CN106684030A ,2017-05-17

[46]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

韩秋华 ;

王新鹏 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN101783312A ,2010-07-21

[47]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

曾祥铭 ;

赖佳平 ;

陈志铭 ;

毕嘉慧 .

中国专利 :CN100339971C ,2006-05-10

[48]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

洪永泰 ;

庄东汉 .

中国专利 :CN1280888C ,2005-01-19

[49]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何学缅 ;

王荣 ;

王丹 .

中国专利 :CN101459115A ,2009-06-17

[50]

浅沟槽隔离的制造方法和CMOS的制造方法 [P].

刘金华 .

中国专利 :CN103456673B ,2013-12-18

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