浅沟槽隔离结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910045971.7

申请日：

2009-01-19

公开(公告)号：

CN101783312A

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

韩秋华王新鹏胡华勇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L2131

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005819088 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2009100459717 申请日:20090119
2012-12-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101489384571 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2009100459717 申请公布日:20100721
2010-07-21	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN101752291B ,2010-06-23

[2]

浅沟槽及其制造方法和浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

王新鹏 ;

张世谋 .

中国专利 :CN101783313A ,2010-07-21

[3]

一种形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104282614B ,2015-01-14

[4]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

黄怡 ;

赵林林 .

中国专利 :CN101770974A ,2010-07-07

[5]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104078411A ,2014-10-01

[6]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何学缅 ;

王荣 ;

王丹 .

中国专利 :CN101459115A ,2009-06-17

[7]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN103515286A ,2014-01-15

[8]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

[9]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

郭得亮 .

中国专利 :CN101330037A ,2008-12-24

[10]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

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