一种形成浅沟槽隔离结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310273050.2

申请日：

2013-07-01

公开(公告)号：

CN104282614B

公开(公告)日：

2015-01-14

发明(设计)人：

邓浩

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L21324

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-01	授权	授权
2015-01-14	公开	公开
2015-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101598157847 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013102730502 申请日:20130701

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

韩秋华 ;

王新鹏 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN101783312A ,2010-07-21

[2]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[3]

一种浅沟槽隔离结构的制作方法和浅沟槽隔离结构 [P].

邓浩 ;

向阳辉 ;

张彬 .

中国专利 :CN103594412A ,2014-02-19

[4]

形成浅沟槽隔离(STI)结构的方法 [P].

贾斯丁·希罗奇·萨托 ;

格雷戈里·艾伦·斯托姆 .

中国专利 :CN107690692A ,2018-02-13

[5]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王新鹏 ;

王军 ;

宋铭峰 .

中国专利 :CN102569162A ,2012-07-11

[6]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN104425343A ,2015-03-18

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

邓浩 ;

严琰 ;

杨军 ;

彭婷婷 .

中国专利 :CN106653675B ,2017-05-10

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102543821A ,2012-07-04

[9]

形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104091779B ,2014-10-08

[10]

形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104157601A ,2014-11-19

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