一种浅沟槽隔离结构的制作方法和浅沟槽隔离结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210287557.9

申请日：

2012-08-13

公开(公告)号：

CN103594412A

公开(公告)日：

2014-02-19

发明(设计)人：

邓浩向阳辉张彬

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754129255 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2012102875579 申请公布日:20140219
2014-02-19	公开	公开
2014-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101580338522 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2012102875579 申请日:20120813

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

邓永平 ;

何学缅 ;

任红茹 ;

樊强 .

中国专利 :CN101887866A ,2010-11-17

[2]

一种浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张庆勇 ;

周儒领 .

中国专利 :CN104867860B ,2015-08-26

[3]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[4]

制作沟槽和浅沟槽隔离结构的方法 [P].

赵林林 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN102299112B ,2011-12-28

[5]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102097356B ,2011-06-15

[6]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

蒋阳波 ;

陈正敏 ;

聂广宇 .

中国专利 :CN102403258A ,2012-04-04

[7]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

宋振伟 ;

徐友峰 ;

陈晋 .

中国专利 :CN103839868A ,2014-06-04

[8]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103236416A ,2013-08-07

[9]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

倪百兵 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN101728307A ,2010-06-09

[10]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

韦庆松 ;

彭树根 .

中国专利 :CN102456607A ,2012-05-16

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