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可调整晶圆边缘膜厚度的托盘装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011633330.6
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN112786522A
公开(公告)日：
2021-05-11
发明(设计)人：
张亚新
戚艳丽
吴凤丽
叶五毛
申请人：
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229
代理人：
李丹
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-11 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20201231 |