研磨垫材料、研磨垫以及制备方法

被引:0
申请号
CN202011555083.2
申请日
2020-12-24
公开(公告)号
CN114656609A
公开(公告)日
2022-06-24
发明(设计)人
李善雄 杨涛 张月 刘青
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
C08G1862
IPC分类号
C08K304 C08K322 C08K706 C08K718 B24B3724 B24D1100 H01L21304
代理机构
北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667
代理人
陈晓瑜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨垫材料、研磨垫以及制备方法 [P]. 
李善雄 ;
杨涛 ;
张月 ;
田光辉 .
中国专利 :CN114591482A ,2022-06-07
[2]
研磨垫用聚氨酯树脂以及研磨垫 [P]. 
若月敦史 ;
口田健太 ;
饭室美纪 ;
泽田雅史 .
日本专利 :CN120435504A ,2025-08-05
[3]
研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P]. 
小田善之 ;
柴雄一郎 .
中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05
[4]
研磨垫 [P]. 
中井良之 ;
数野淳 ;
木村毅 ;
下村哲生 ;
小川一幸 .
中国专利 :CN101636248A ,2010-01-27
[5]
研磨垫 [P]. 
清水绅司 ;
数野淳 .
中国专利 :CN102655983A ,2012-09-05
[6]
研磨垫 [P]. 
佐藤彰则 ;
堂浦真人 .
中国专利 :CN103764346A ,2014-04-30
[7]
研磨垫以及研磨方法 [P]. 
森永均 ;
玉井一诚 ;
田原宗明 ;
浅井舞子 ;
伊藤友一 .
中国专利 :CN107708926A ,2018-02-16
[8]
研磨垫以及研磨方法 [P]. 
王裕标 .
中国专利 :CN109590897A ,2019-04-09
[9]
研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法 [P]. 
加藤充 ;
菊池博文 ;
冈本知大 ;
加藤晋哉 .
日本专利 :CN114286737B ,2024-10-08
[10]
研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法 [P]. 
加藤充 ;
菊池博文 ;
冈本知大 ;
加藤晋哉 .
中国专利 :CN114286737A ,2022-04-05