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一种晶圆平面的校正装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110967595.8
申请日：
2021-08-23
公开(公告)号：
CN113707589A
公开(公告)日：
2021-11-26
发明(设计)人：
黄海荣
谢柏弘
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区潭头第二工业城A区27栋102
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
代理机构：
深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451
代理人：
周椿
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210823 |
| 2021-11-26 | 公开 | 公开 |