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晶圆校正装置
被引：0
申请号：
CN202222805300.X
申请日：
2022-10-24
公开(公告)号：
CN218414515U
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
陈达
曹靖波
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
吴浩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-31 | 授权 | 授权 |