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晶圆面形校正装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311480678.X
申请日：
2023-11-08
公开(公告)号：
CN117518731A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
罗先刚
刘毅
刘明刚
申请人：
天府兴隆湖实验室
申请人地址：
610213 四川省成都市天府新区科智路999号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231108 |