一种双片晶圆镀膜夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111298590.7

申请日：

2021-11-04

公开(公告)号：

CN114197021A

公开(公告)日：

2022-03-18

发明(设计)人：

王殿魏宇祥常志

申请人：

申请人地址：

030024 山西省太原市万柏林区和平南路115号

IPC主分类号：

C25D1706

IPC分类号：

C25D1700 C25D712

代理机构：

山西华炬律师事务所 14106

代理人：

陈奇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 17/06 申请日:20211104
2022-03-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双片晶圆镀膜夹具 [P].

王殿 ;

魏宇祥 ;

常志 .

中国专利 :CN114197021B ,2024-06-04

[2]

一种超大尺寸厚片晶体镀膜夹具 [P].

陈基平 ;

陈宏忠 .

中国专利 :CN210438831U ,2020-05-01

[3]

一种单片晶圆盒 [P].

胡明 ;

王虎 ;

安海岩 ;

段会强 .

中国专利 :CN208655597U ,2019-03-26

[4]

一种单片晶圆盒 [P].

何施亮 .

中国专利 :CN210296324U ,2020-04-10

[5]

圆片状产品镀膜固定夹具 [P].

薛凯文 ;

孙卓杰 ;

孙莽 ;

王世武 .

中国专利 :CN220952026U ,2024-05-14

[6]

一种夹具组件、镀膜工装及晶圆片固定方法 [P].

李永安 .

中国专利 :CN118374781A ,2024-07-23

[7]

一种单片晶圆显影花篮 [P].

宋学颖 ;

陈帅 ;

王磊 ;

陈景春 ;

白国人 ;

李玉源 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213340308U ,2021-06-01

[8]

一种芯片晶圆储存装置 [P].

陈学翠 .

中国专利 :CN213401122U ,2021-06-08

[9]

一种晶圆双片检测平台 [P].

蒋红光 .

中国专利 :CN218380892U ,2023-01-24

[10]

一种镀膜基片的镀膜夹具 [P].

董新妹 .

中国专利 :CN104313547A ,2015-01-28

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