一种晶圆暗裂纹检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120599783.5

申请日：

2021-03-24

公开(公告)号：

CN214503405U

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

张军伟谭中飞

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州吴中区横泾街道南官渡路521号12幢

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533

代理人：

赵艾亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种瓷砖暗裂纹检测装置 [P].

莫洁兴 ;

刘子良 .

中国专利 :CN218412376U ,2023-01-31

[2]

瓷砖暗裂纹检测装置 [P].

关伟铿 ;

段锦霞 ;

张国江 ;

辛肖桃 ;

梁文勇 ;

关润淡 ;

关伟洪 ;

梁耀联 ;

张庆刚 ;

叶飞施 ;

李春辉 ;

冯月媚 ;

黎美玉 .

中国专利 :CN216646351U ,2022-05-31

[3]

晶圆裂纹检测装置和检测方法 [P].

徐帅 ;

胡扬端瑞 ;

侯学成 ;

孙亮 ;

宁云龙 ;

覃一锋 ;

杨俊峰 ;

王冬冬 .

中国专利 :CN118533860A ,2024-08-23

[4]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[5]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[6]

一种晶圆支架的检测装置 [P].

李胜军 ;

唐文 .

中国专利 :CN221803930U ,2024-10-01

[7]

一种半导体晶圆缺陷检测装置 [P].

陈宗廷 ;

朱放中 ;

于铁牛 .

中国专利 :CN223470977U ,2025-10-24

[8]

晶圆检测装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271041U ,2015-04-15

[9]

一种裂纹检测装置 [P].

王庆元 ;

马杰 ;

孟岩 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN215985858U ,2022-03-08

[10]

一种裂纹检测装置 [P].

尤根·海瑞恩 .

中国专利 :CN210690430U ,2020-06-05

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