微波等离子体反应腔

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710121656.9

申请日：

2007-09-12

公开(公告)号：

CN101123844A

公开(公告)日：

2008-02-13

发明(设计)人：

刘亮张贵新冯剑

申请人：

申请人地址：

100084北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所

代理人：

廖元秋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-09-14	授权	授权
2018-08-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20070912 授权公告日:20110914 终止日期:20170912
2008-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体反应腔 [P].

聂淼 .

中国专利 :CN103811258A ,2014-05-21

[2]

等离子体反应腔 [P].

江坤盛 ;

林志明 ;

邱志勤 ;

范和安 ;

郑有青 .

中国专利 :CN100389225C ,2006-06-14

[3]

一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统 [P].

刘凯 ;

王少波 ;

赵士国 ;

段浩波 ;

胡永康 ;

王健 ;

朱洪硕 ;

朱浩 ;

赵玉莲 .

中国专利 :CN223527123U ,2025-11-07

[4]

微波等离子体反应器 [P].

王群 ;

卫博 ;

唐章宏 ;

李永卿 .

中国专利 :CN111511090B ,2020-08-07

[5]

微波等离子体火炬产生装置 [P].

丁海兵 ;

王彬彬 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 ;

肖韧 ;

唐科 .

中国专利 :CN114760747B ,2025-02-28

[6]

微波等离子体火炬产生装置 [P].

丁海兵 ;

王彬彬 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 ;

肖韧 ;

唐科 .

中国专利 :CN114760747A ,2022-07-15

[7]

狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔 [P].

刘亮 ;

张贵新 ;

冯剑 .

中国专利 :CN101119609A ,2008-02-06

[8]

等离子体反应腔清洗装置及其等离子体反应腔清洗方法 [P].

吴紫阳 ;

苏兴才 ;

文秉述 .

中国专利 :CN102856150B ,2013-01-02

[9]

微波等离子体发生装置、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法 [P].

中川清和 ;

宇佐美由久 .

日本专利 :CN119586328A ,2025-03-07

[10]

微波等离子体处理装置 [P].

山崎幸一 ;

佐野正树 .

中国专利 :CN101213643A ,2008-07-02

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