微波等离子体火炬产生装置

被引：0

申请号：

CN202210585716.7

申请日：

2022-05-23

公开(公告)号：

CN114760747A

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

丁海兵王彬彬吉忠浩陆登峰肖韧唐科

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区北四环西路19号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H05H130

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周天宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	公开	公开
2022-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20220523

共 50 条

[1]

微波等离子体火炬产生装置 [P].

丁海兵 ;

王彬彬 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 ;

肖韧 ;

唐科 .

中国专利 :CN114760747B ,2025-02-28

[2]

微波等离子体的产生方法和装置 [P].

郭华聪 .

中国专利 :CN1055275A ,1991-10-09

[3]

微波等离子体产生室 [P].

M·哈默尔 .

中国专利 :CN107926107B ,2018-04-17

[4]

一种微波等离子体产生装置 [P].

王邱林 ;

吉皓 .

中国专利 :CN112888134B ,2024-03-08

[5]

一种微波等离子体产生装置 [P].

王邱林 ;

吉皓 .

中国专利 :CN214101881U ,2021-08-31

[6]

一种微波等离子体产生装置 [P].

王邱林 ;

吉皓 .

中国专利 :CN112888134A ,2021-06-01

[7]

微波等离子体源及其产生方法 [P].

M·R·哈米尔 .

中国专利 :CN1286350C ,2005-05-18

[8]

微波等离子体装置及等离子体激发方法 [P].

刘新宇 ;

王盛凯 ;

汤益丹 ;

白云 .

中国专利 :CN110049614A ,2019-07-23

[9]

产生等离子体的微波天线 [P].

刘铉锺 ;

章守旭 ;

郑熔镐 ;

李奉柱 .

中国专利 :CN102612863B ,2012-07-25

[10]

微波等离子体反应腔 [P].

刘亮 ;

张贵新 ;

冯剑 .

中国专利 :CN101123844A ,2008-02-13

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