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微波等离子体装置及等离子体激发方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910354079.0
申请日：
2019-04-28
公开(公告)号：
CN110049614A
公开(公告)日：
2019-07-23
发明(设计)人：
刘新宇
王盛凯
汤益丹
白云
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
H05H146
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
张宇园
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-23 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-03 | 授权 | 授权 |
| 2019-08-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20190428 |