狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710121657.3

申请日：

2007-09-12

公开(公告)号：

CN101119609A

公开(公告)日：

2008-02-06

发明(设计)人：

刘亮张贵新冯剑

申请人：

申请人地址：

100084北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所

代理人：

廖元秋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-30	授权	授权
2008-02-06	公开	公开
2017-11-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20070912 授权公告日:20110330 终止日期:20160912
2008-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

微波等离子体反应腔 [P].

刘亮 ;

张贵新 ;

冯剑 .

中国专利 :CN101123844A ,2008-02-13

[2]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN113690125A ,2021-11-23

[3]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

美国专利 :CN113690125B ,2024-05-24

[4]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN109564843B ,2019-04-02

[5]

等离子体反应腔 [P].

聂淼 .

中国专利 :CN103811258A ,2014-05-21

[6]

等离子体反应腔 [P].

江坤盛 ;

林志明 ;

邱志勤 ;

范和安 ;

郑有青 .

中国专利 :CN100389225C ,2006-06-14

[7]

一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统 [P].

刘凯 ;

王少波 ;

赵士国 ;

段浩波 ;

胡永康 ;

王健 ;

朱洪硕 ;

朱浩 ;

赵玉莲 .

中国专利 :CN223527123U ,2025-11-07

[8]

波导缝隙式微波等离子体源 [P].

王邱林 ;

张鹏程 ;

吉皓 .

中国专利 :CN216795347U ,2022-06-21

[9]

增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538701A ,2018-09-14

[10]

微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538696A ,2018-09-14

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