模块式微波等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780047022.5

申请日：

2017-01-18

公开(公告)号：

CN109564843B

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

菲利普·艾伦·克劳斯蔡泰正

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	授权	授权
2019-04-02	公开	公开
2019-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20170118

共 50 条

[1]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN113690125A ,2021-11-23

[2]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

美国专利 :CN113690125B ,2024-05-24

[3]

波导缝隙式微波等离子体源 [P].

王邱林 ;

张鹏程 ;

吉皓 .

中国专利 :CN216795347U ,2022-06-21

[4]

微波等离子体源 [P].

武洪臣 .

中国专利 :CN1317924A ,2001-10-17

[5]

微波等离子体源 [P].

国中均 .

中国专利 :CN111149438B ,2020-05-12

[6]

小功率微波等离子体源 [P].

廖斌 ;

周蓓 ;

曹焕丽 ;

朱守正 .

中国专利 :CN101184359A ,2008-05-21

[7]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

小松智仁 ;

池田太郎 ;

藤野丰 .

中国专利 :CN104717820B ,2015-06-17

[8]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

河西繁 .

中国专利 :CN101385129B ,2009-03-11

[9]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 .

中国专利 :CN102458032A ,2012-05-16

[10]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN101971302B ,2011-02-09

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