增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810463874.9

申请日：

2018-05-15

公开(公告)号：

CN108538701A

公开(公告)日：

2018-09-14

发明(设计)人：

阮存军刘静戴军孔德胤李仁杰

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

H01J4910

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹;吴欢燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-26	授权	授权
2018-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538696A ,2018-09-14

[2]

一种微波耦合等离子体谐振腔 [P].

曹彦波 ;

于爱民 .

中国专利 :CN106304602A ,2017-01-04

[3]

用于等离子体光源的微波谐振腔 [P].

贾华 ;

朱梁 ;

彭承尧 ;

单家芳 ;

刘甫坤 .

中国专利 :CN204067303U ,2014-12-31

[4]

用于等离子体光源的微波谐振腔 [P].

贾华 ;

朱梁 ;

彭承尧 ;

单家芳 ;

刘甫坤 .

中国专利 :CN104064441B ,2014-09-24

[5]

微波等离子体发生装置、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法 [P].

中川清和 ;

宇佐美由久 .

日本专利 :CN119586328A ,2025-03-07

[6]

一种等离子体微波谐振腔 [P].

张金燕 ;

王瑞春 ;

夏先辉 .

中国专利 :CN102263000B ,2011-11-30

[7]

等离子体谐振腔装置 [P].

邓都才 ;

刘志坚 .

中国专利 :CN1292624C ,2005-03-02

[8]

一种环形微波等离子体谐振腔 [P].

蔡冰峰 ;

刘志坚 ;

黄文俊 ;

曾建军 ;

岳静 .

中国专利 :CN111542166A ,2020-08-14

[9]

微波同轴谐振腔等离子体点火助燃装置 [P].

夏广庆 ;

郝剑昆 ;

邹存祚 ;

王鹏 ;

徐宗琦 ;

吴秋云 ;

周念东 .

中国专利 :CN104612835A ,2015-05-13

[10]

微波等离子体反应腔 [P].

刘亮 ;

张贵新 ;

冯剑 .

中国专利 :CN101123844A ,2008-02-13

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