用于等离子体光源的微波谐振腔

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420313347.7

申请日：

2014-06-12

公开(公告)号：

CN204067303U

公开(公告)日：

2014-12-31

发明(设计)人：

贾华朱梁彭承尧单家芳刘甫坤

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市庐阳区六安路158号11栋212室

IPC主分类号：

H01J6504

IPC分类号：

代理机构：

安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112

代理人：

方琦

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731852872 IPC(主分类):H01J 65/04 专利号:ZL2014203133477 申请日:20140612 授权公告日:20141231 放弃生效日:20160504
2014-12-31	授权	授权

共 50 条

[1]

用于等离子体光源的微波谐振腔 [P].

贾华 ;

朱梁 ;

彭承尧 ;

单家芳 ;

刘甫坤 .

中国专利 :CN104064441B ,2014-09-24

[2]

一种等离子体微波谐振腔 [P].

张金燕 ;

王瑞春 ;

夏先辉 .

中国专利 :CN102263000B ,2011-11-30

[3]

无损隔热等离子体谐振腔 [P].

邓都才 ;

尹红兵 ;

刘志坚 ;

戚卫 ;

李诗愈 .

中国专利 :CN2571128Y ,2003-09-03

[4]

微波同轴谐振腔等离子体点火助燃装置 [P].

夏广庆 ;

郝剑昆 ;

邹存祚 ;

王鹏 ;

徐宗琦 ;

吴秋云 ;

周念东 .

中国专利 :CN104612835A ,2015-05-13

[5]

等离子体谐振腔装置 [P].

邓都才 ;

刘志坚 .

中国专利 :CN1292624C ,2005-03-02

[6]

一种双腔型等离子体微波谐振腔 [P].

胡肖 ;

朱继红 ;

李鹏 ;

龙胜亚 ;

王瑞春 .

中国专利 :CN105502918A ,2016-04-20

[7]

一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源 [P].

赵怿哲 ;

袁野 ;

郭成 ;

赵青 ;

甘旭鹏 .

中国专利 :CN119739009A ,2025-04-01

[8]

一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源 [P].

赵怿哲 ;

袁野 ;

郭成 ;

赵青 ;

甘旭鹏 .

中国专利 :CN119739009B ,2025-09-02

[9]

增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538701A ,2018-09-14

[10]

微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538696A ,2018-09-14

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