一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411935554.0

申请日：

2024-12-26

公开(公告)号：

CN119739009B

公开(公告)日：

2025-09-02

发明(设计)人：

赵怿哲袁野郭成赵青甘旭鹏

申请人：

电子科技大学

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

四川鼎耀蓉诚知识产权代理事务所(普通合伙) 51422

代理人：

赖将军

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权
2025-04-01	公开	公开
2025-04-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241226

共 50 条

[1]

一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源 [P].

赵怿哲 ;

袁野 ;

郭成 ;

赵青 ;

甘旭鹏 .

中国专利 :CN119739009A ,2025-04-01

[2]

用于等离子体光源的微波谐振腔 [P].

贾华 ;

朱梁 ;

彭承尧 ;

单家芳 ;

刘甫坤 .

中国专利 :CN204067303U ,2014-12-31

[3]

用于等离子体光源的微波谐振腔 [P].

贾华 ;

朱梁 ;

彭承尧 ;

单家芳 ;

刘甫坤 .

中国专利 :CN104064441B ,2014-09-24

[4]

一种环形微波等离子体谐振腔 [P].

蔡冰峰 ;

刘志坚 ;

黄文俊 ;

曾建军 ;

岳静 .

中国专利 :CN111542166A ,2020-08-14

[5]

一种等离子体微波谐振腔 [P].

张金燕 ;

王瑞春 ;

夏先辉 .

中国专利 :CN102263000B ,2011-11-30

[6]

一种微波耦合等离子体谐振腔 [P].

曹彦波 ;

于爱民 .

中国专利 :CN106304602A ,2017-01-04

[7]

增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538701A ,2018-09-14

[8]

微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置 [P].

阮存军 ;

刘静 ;

戴军 ;

孔德胤 ;

李仁杰 .

中国专利 :CN108538696A ,2018-09-14

[9]

可调谐等离子体谐振腔 [P].

孙建华 ;

李震宇 ;

刘善沛 .

中国专利 :CN1858298A ,2006-11-08

[10]

可调谐等离子体谐振腔 [P].

李震宇 ;

孙建华 ;

方东权 .

中国专利 :CN100541907C ,2009-09-16

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