具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580040481.8

申请日：

2005-10-11

公开(公告)号：

CN101069295B

公开(公告)日：

2007-11-07

发明(设计)人：

安德列亚斯·拜布尔约翰·A·希金森克里斯托弗·门泽尔保罗·A·霍伊辛顿

申请人：

申请人地址：

美国新罕布什尔州

IPC主分类号：

H01L4109

IPC分类号：

H01L4122 B41J214 B41J216

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陶凤波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-18	授权	授权
2007-11-07	公开	公开

共 50 条

[1]

压电装置、超声换能器、微机电装置和形成压电装置的方法 [P].

M·桑达拉·潘迪安 ;

M·贝拉 ;

T·斯坦格尔 ;

R·格伦贝格尔 ;

T·贝弗 ;

S·G·阿尔伯特 ;

S·利普斯 .

德国专利 :CN120390580A ,2025-07-29

[2]

具有压电块的微机电装置的制作方法 [P].

安德列亚斯·拜布尔 ;

约翰·A·希金森 .

中国专利 :CN100533800C ,2007-10-31

[3]

具有压电换能器阵列的声场装置 [P].

巴特·利普肯斯 ;

杰森·迪翁 .

中国专利 :CN106470748A ,2017-03-01

[4]

具有多压电层的压电微机械超声换能器 [P].

任俊彦 ;

何勒铭 ;

王言 .

中国专利 :CN112871612A ,2021-06-01

[5]

形成具有弯曲压电膜的装置 [P].

保罗·A·侯森汤恩 ;

杰弗里·比克迈尔 ;

安德烈亚斯·比布尔 ;

麻丝·G·奥特斯森 ;

格雷戈里·德布拉邦德 ;

陈振方 ;

马克·尼珀姆尼萨 ;

杉本真也 .

中国专利 :CN103026520A ,2013-04-03

[6]

微机电系统压电换能器及制作方法 [P].

徐景辉 .

中国专利 :CN109244232A ,2019-01-18

[7]

压电换能器及压电换能器的制备方法 [P].

吴健兴 ;

但强 ;

黎家健 .

中国专利 :CN112838158B ,2025-06-24

[8]

具有压电换能器的介入设备 [P].

W-J·A·德维吉斯 ;

C·G·菲瑟 ;

H·R·施塔伯特 ;

J·W·威克普 ;

G·F·C·M·利杰坦恩 ;

E·F·J·克莱森斯 .

:CN111741716B ,2024-08-20

[9]

具有压电换能器的介入设备 [P].

W-J·A·德维吉斯 ;

C·G·菲瑟 ;

H·R·施塔伯特 ;

J·W·威克普 ;

G·F·C·M·利杰坦恩 ;

E·F·J·克莱森斯 .

中国专利 :CN111741716A ,2020-10-02

[10]

具有隔离片的压电换能器 [P].

张昕阳 ;

贺云波 .

中国专利 :CN215088606U ,2021-12-10

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