形成具有弯曲压电膜的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180036752.8

申请日：

2011-07-22

公开(公告)号：

CN103026520A

公开(公告)日：

2013-04-03

发明(设计)人：

保罗·A·侯森汤恩杰弗里·比克迈尔安德烈亚斯·比布尔麻丝·G·奥特斯森格雷戈里·德布拉邦德陈振方马克·尼珀姆尼萨杉本真也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L4133

IPC分类号：

H01L41332

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

汤雄军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	授权	授权
2013-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101448960600 IPC(主分类):H01L 41/33 专利申请号:2011800367528 申请日:20110722
2013-04-03	公开	公开

共 50 条

[1]

具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法 [P].

安德列亚斯·拜布尔 ;

约翰·A·希金森 ;

克里斯托弗·门泽尔 ;

保罗·A·霍伊辛顿 .

中国专利 :CN101069295B ,2007-11-07

[2]

形成压电膜的方法和装置 [P].

安井基博 .

中国专利 :CN100457971C ,2006-01-18

[3]

膜形成装置、膜形成方法及压电致动器的制造方法 [P].

安井基博 ;

明渡纯 .

中国专利 :CN1920094B ,2007-02-28

[4]

一种弯曲压电驱动膜 [P].

吴越 ;

曾祥莉 ;

田丰君 .

中国专利 :CN109671842A ,2019-04-23

[5]

PTZT压电膜及其压电膜形成用液体组合物的制造方法 [P].

土井利浩 ;

曽山信幸 .

中国专利 :CN107431123A ,2017-12-01

[6]

压电膜器件和压电膜装置 [P].

柴田宪治 ;

末永和史 ;

渡边和俊 ;

野本明 ;

堀切文正 .

中国专利 :CN102959751A ,2013-03-06

[7]

具有阻尼的压电致动器 [P].

A·阿茨希尼恩 ;

H·菲尔伦德 ;

D·尼尔斯特罗姆 .

澳大利亚专利 :CN119547461A ,2025-02-28

[8]

具有局部膜振动的声学压电膜换能器阵列 [P].

希尔克·布勒·阿克曼 ;

阿尔伯特·佑斯·扬·玛丽·万布里曼 ;

格温·赫尔曼纳斯·格林克 ;

阿瑟·佩里·伯克霍夫 ;

保罗·路易斯·玛莉亚·约瑟夫·万妮尔 ;

阿尔诺·威廉·弗雷德里克·佛尔克 .

中国专利 :CN113766977A ,2021-12-07

[9]

压电膜的制造方法、基板和压电膜的层叠结构、压电激励器及其制造方法 [P].

安井基博 ;

明渡纯 .

中国专利 :CN100476033C ,2005-10-05

[10]

用于输液的压电膜泵 [P].

R·P·孔西利奥 ;

F·P·奥尼尔 .

中国专利 :CN109789265A ,2019-05-21

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