具有压电块的微机电装置的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580040482.2

申请日：

2005-10-12

公开(公告)号：

CN100533800C

公开(公告)日：

2007-10-31

发明(设计)人：

安德列亚斯·拜布尔约翰·A·希金森

申请人：

申请人地址：

美国新罕布什尔州

IPC主分类号：

H01L4109

IPC分类号：

B41J214

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-26	授权	授权
2007-10-31	公开	公开

共 50 条

[1]

具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法 [P].

安德列亚斯·拜布尔 ;

约翰·A·希金森 ;

克里斯托弗·门泽尔 ;

保罗·A·霍伊辛顿 .

中国专利 :CN101069295B ,2007-11-07

[2]

微机电系统压电换能器及其制作方法 [P].

刘通 ;

杨长红 ;

黄世峰 ;

牟言鹏 ;

张晓琳 .

中国专利 :CN117880726A ,2024-04-12

[3]

压电产生装置及其制作方法、微机电系统 [P].

初宝进 ;

田冬霞 .

中国专利 :CN111682100B ,2020-09-18

[4]

微机电系统压电换能器及制作方法 [P].

徐景辉 .

中国专利 :CN109244232A ,2019-01-18

[5]

复合材料的微机电装置与其制作方法 [P].

苏中源 ;

黄肇达 ;

李宗璟 ;

许郁文 .

中国专利 :CN104071740A ,2014-10-01

[6]

微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 [P].

周嘉兴 .

中国专利 :CN101018734A ,2007-08-15

[7]

微机电装置及其制作方法 [P].

毛剑宏 ;

唐德明 .

中国专利 :CN102180441A ,2011-09-14

[8]

微机电装置与制作方法 [P].

蔡明翰 .

中国专利 :CN103796148B ,2014-05-14

[9]

微机电系统装置以及制作微机电系统的方法 [P].

谢聪敏 ;

李建兴 ;

蔡振维 .

中国专利 :CN107986225B ,2018-05-04

[10]

微机电系统及其制作方法 [P].

李文波 ;

张寒冰 ;

王龙 ;

刘金豆 ;

李延钊 .

中国专利 :CN118414297A ,2024-07-30

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