微机电系统及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280004778.2

申请日：

2022-11-30

公开(公告)号：

CN118414297A

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

李文波张寒冰王龙刘金豆李延钊

申请人：

京东方科技集团股份有限公司北京京东方技术开发有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

B81B3/00

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

孙琦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 3/00申请日:20221130
2024-07-30	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统芯片及其制作方法 [P].

王傅蔚 ;

李昇达 ;

徐新惠 ;

王维中 .

中国专利 :CN102079500B ,2011-06-01

[2]

微机电系统结构及其制作方法 [P].

林元生 ;

张容豪 ;

徐长生 ;

陈翁宜 .

中国专利 :CN111434604A ,2020-07-21

[3]

微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 [P].

周嘉兴 .

中国专利 :CN101018734A ,2007-08-15

[4]

微机电系统微镜及其制作方法 [P].

薛原 ;

谢会开 ;

王鹏 .

中国专利 :CN111580265A ,2020-08-25

[5]

微机电系统封装结构及其制作方法 [P].

吴东峰 ;

陈维孝 ;

苏俊豪 ;

陈瑞文 ;

郑贸谦 .

中国专利 :CN106256758B ,2016-12-28

[6]

微机电系统压电换能器及其制作方法 [P].

刘通 ;

杨长红 ;

黄世峰 ;

牟言鹏 ;

张晓琳 .

中国专利 :CN117880726A ,2024-04-12

[7]

微机电系统封装结构及其制作方法 [P].

贺有静 ;

范文喆 .

中国专利 :CN111498791A ,2020-08-07

[8]

复合微机电系统芯片及其制作方法 [P].

康育辅 ;

罗炯成 .

中国专利 :CN104803343A ,2015-07-29

[9]

微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P].

黎坡 .

中国专利 :CN103063351A ,2013-04-24

[10]

微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P].

黎坡 .

中国专利 :CN103063352A ,2013-04-24

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