压电产生装置及其制作方法、微机电系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010645796.1

申请日：

2020-07-07

公开(公告)号：

CN111682100B

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

初宝进田冬霞

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

H01L4108

IPC分类号：

H01L41083 H01L4122

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

尹秀

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/08 申请日:20200707
2020-09-18	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统压电换能器及其制作方法 [P].

刘通 ;

杨长红 ;

黄世峰 ;

牟言鹏 ;

张晓琳 .

中国专利 :CN117880726A ,2024-04-12

[2]

微机电系统及其制作方法 [P].

李文波 ;

张寒冰 ;

王龙 ;

刘金豆 ;

李延钊 .

中国专利 :CN118414297A ,2024-07-30

[3]

微机电系统压电换能器及制作方法 [P].

徐景辉 .

中国专利 :CN109244232A ,2019-01-18

[4]

微机电系统芯片及其制作方法 [P].

王傅蔚 ;

李昇达 ;

徐新惠 ;

王维中 .

中国专利 :CN102079500B ,2011-06-01

[5]

微机电系统结构及其制作方法 [P].

林元生 ;

张容豪 ;

徐长生 ;

陈翁宜 .

中国专利 :CN111434604A ,2020-07-21

[6]

微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 [P].

周嘉兴 .

中国专利 :CN101018734A ,2007-08-15

[7]

微机电系统微镜及其制作方法 [P].

薛原 ;

谢会开 ;

王鹏 .

中国专利 :CN111580265A ,2020-08-25

[8]

微机电系统封装结构及其制作方法 [P].

吴东峰 ;

陈维孝 ;

苏俊豪 ;

陈瑞文 ;

郑贸谦 .

中国专利 :CN106256758B ,2016-12-28

[9]

微机电系统封装结构及其制作方法 [P].

贺有静 ;

范文喆 .

中国专利 :CN111498791A ,2020-08-07

[10]

复合微机电系统芯片及其制作方法 [P].

康育辅 ;

罗炯成 .

中国专利 :CN104803343A ,2015-07-29

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