一种激光加工晶圆的方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710574488.2
申请日
2017-07-14
公开(公告)号
CN107234343B
公开(公告)日
2017-10-10
发明(设计)人
张紫辰 侯煜 刘嵩
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
B23K26364
IPC分类号
代理机构
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人
关宇辰
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107214420B ,2017-09-29
[2]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107214418A ,2017-09-29
[3]
一种激光加工晶圆的方法及系统 [P]. 
侯煜 ;
张喆 ;
李曼 ;
王然 ;
李纪东 ;
张紫辰 ;
张昆鹏 ;
易飞跃 ;
杨顺凯 .
中国专利 :CN109530938B ,2019-03-29
[4]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
张紫辰 ;
侯煜 ;
刘嵩 .
中国专利 :CN107252982B ,2017-10-17
[5]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107685196A ,2018-02-13
[6]
一种激光加工晶圆的装置及方法 [P]. 
张紫辰 ;
侯煜 ;
刘嵩 .
中国专利 :CN107433396A ,2017-12-05
[7]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107414309B ,2017-12-01
[8]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107378255B ,2017-11-24
[9]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107252981B ,2017-10-17
[10]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107214419B ,2017-09-29