一种激光加工晶圆的方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710574325.4
申请日
2017-07-14
公开(公告)号
CN107685196A
公开(公告)日
2018-02-13
发明(设计)人
侯煜 刘嵩 张紫辰
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
B23K26364
IPC分类号
B23K26402 B23K2660
代理机构
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人
关宇辰
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107252981B ,2017-10-17
[2]
一种激光加工晶圆的装置及方法 [P]. 
张紫辰 ;
侯煜 ;
刘嵩 .
中国专利 :CN107433396A ,2017-12-05
[3]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107214419B ,2017-09-29
[4]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107214420B ,2017-09-29
[5]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
张紫辰 ;
侯煜 ;
刘嵩 .
中国专利 :CN107252982B ,2017-10-17
[6]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
刘嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107414309B ,2017-12-01
[7]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
刘嵩 ;
侯煜 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN107378255B ,2017-11-24
[8]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
张紫辰 ;
侯煜 ;
刘嵩 .
中国专利 :CN107234343B ,2017-10-10
[9]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
李纪东 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN109570783A ,2019-04-05
[10]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
李纪东 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN109530936A ,2019-03-29