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一种晶圆加工搬运手臂
被引：0
申请号：
CN202221941724.2
申请日：
2022-07-26
公开(公告)号：
CN218004819U
公开(公告)日：
2022-12-09
发明(设计)人：
宗启明
孔慧
张建龙
申请人：
申请人地址：
273100 山东省济宁市曲阜市电子产业园有邻路与信息路交汇处山东博通微电子有限公司
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21687
H01L21677
代理机构：
济南尚本知识产权代理事务所(普通合伙) 37307
代理人：
张笑
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 授权 | 授权 |