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一种晶圆手臂
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721404017.9
申请日：
2017-10-27
公开(公告)号：
CN207282476U
公开(公告)日：
2018-04-27
发明(设计)人：
杨小雄
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区沈梅路600号4栋1楼
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251
代理人：
郭桂峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-27 | 授权 | 授权 |