一种半导体晶圆传送手臂

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专利类型
实用新型
申请号
CN202020974980.6
申请日
2020-06-01
公开(公告)号
CN211788962U
公开(公告)日
2020-10-27
发明(设计)人
戴文海
申请人
申请人地址
334000 江西省上饶市经济技术开发区光电创谷路9号厂房
IPC主分类号
H01L21687
IPC分类号
代理机构
南昌金轩知识产权代理有限公司 36129
代理人
黄亮亮
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体晶圆吸盘 [P]. 
贺武峰 ;
吴想 .
中国专利 :CN213150748U ,2021-05-07
[2]
一种半导体晶圆吸盘 [P]. 
戴文海 .
中国专利 :CN211788958U ,2020-10-27
[3]
一种半导体晶圆传送装置 [P]. 
陈建华 ;
薛敬伟 ;
王锡胜 ;
胡长文 ;
刘庆贵 .
中国专利 :CN210129495U ,2020-03-06
[4]
一种半导体晶圆传送装置 [P]. 
郑国 ;
龚江川 .
中国专利 :CN222320213U ,2025-01-07
[5]
半导体晶圆 [P]. 
M·J·塞登 ;
野间崇 ;
斋藤和弘 .
中国专利 :CN207338360U ,2018-05-08
[6]
半导体晶圆盒传送装置 [P]. 
罗正勇 ;
金補哲 ;
王会会 ;
林保璋 .
中国专利 :CN216902859U ,2022-07-05
[7]
一种半导体晶圆的传送装置 [P]. 
刘俊成 .
中国专利 :CN213601847U ,2021-07-02
[8]
一种半导体晶圆传送装置及其底座 [P]. 
吴斌 ;
胡彦杰 ;
陈武伟 .
中国专利 :CN202977389U ,2013-06-05
[9]
一种半导体晶圆转运用机械手臂 [P]. 
陈斐 ;
朱巍 .
中国专利 :CN223160939U ,2025-07-29
[10]
一种半导体晶圆 [P]. 
任霄峰 ;
胥超 ;
何洪涛 ;
徐永青 .
中国专利 :CN206014408U ,2017-03-15