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一种晶圆定位机械手臂
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020553205.3
申请日：
2020-04-15
公开(公告)号：
CN211788961U
公开(公告)日：
2020-10-27
发明(设计)人：
唐超
林坚
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号（2号厂房）
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人：
林波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-27 | 授权 | 授权 |
| 2021-01-12 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/687 变更事项:专利权人 变更前:泓浒（昆山）半导体光电有限公司 变更后:泓浒（苏州）半导体科技有限公司 变更事项:地址 变更前:215300 江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号（2号厂房） 变更后:215131 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 |