吸盘及晶圆手臂

被引：0

申请号：

CN202222455707.4

申请日：

2022-09-16

公开(公告)号：

CN218241799U

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

王明阳

申请人：

申请人地址：

201318 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区沧海路2728、2828号7幢

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

袁微微

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位 [P].

张琪 ;

符友银 ;

杨光华 ;

曾庆毫 .

中国专利 :CN121123105A ,2025-12-12

[2]

晶圆吸盘 [P].

邱晓明 .

中国专利 :CN222300649U ,2025-01-03

[3]

晶圆吸盘 [P].

张朝前 ;

马砚忠 ;

李少雷 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN208336179U ,2019-01-04

[4]

机械手臂及晶圆清洗装置 [P].

丁洋 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981195U ,2020-01-21

[5]

晶圆吸盘 [P].

张朝前 ;

马砚忠 ;

李少雷 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN208336180U ,2019-01-04

[6]

晶圆吸盘 [P].

闫傲 ;

许文泽 ;

郭享 .

中国专利 :CN220651988U ,2024-03-22

[7]

晶圆吸盘清洗设备 [P].

茆宏 ;

郁言威 ;

高兴 ;

邓桂剑 ;

陆嘉黎 ;

李民 .

中国专利 :CN223501817U ,2025-10-31

[8]

晶圆分选设备 [P].

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

薛增辉 ;

祝佳辉 ;

王文广 ;

张庆 ;

叶莹 .

中国专利 :CN217822685U ,2022-11-15

[9]

晶圆取放手臂机构 [P].

林连生 ;

洪俊豪 .

中国专利 :CN202189768U ,2012-04-11

[10]

晶圆基座及晶圆处理装置 [P].

王昕昀 ;

吴孝哲 ;

胡广严 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208743270U ,2019-04-16

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