吸盘及晶圆手臂

被引：0

申请号：

CN202222455707.4

申请日：

2022-09-16

公开(公告)号：

CN218241799U

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

王明阳

申请人：

申请人地址：

201318 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区沧海路2728、2828号7幢

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

袁微微

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	授权	授权

共 50 条

[41]

一种晶圆搬运机械手臂 [P].

金浩天 ;

张怀宣 ;

任行军 ;

李今玉 .

中国专利 :CN208529106U ,2019-02-22

[42]

一种半导体晶圆传送手臂 [P].

戴文海 .

中国专利 :CN211788962U ,2020-10-27

[43]

晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P].

谷泓毅 ;

陈顺利 ;

赵波 ;

张笑笑 .

中国专利 :CN223193774U ,2025-08-05

[44]

气锁及晶圆传送装置 [P].

王敏磊 ;

栾剑峰 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207938584U ,2018-10-02

[45]

晶圆背面减薄方法及晶圆背面减薄装置 [P].

苏亚青 ;

张守龙 ;

季芝慧 ;

谭秀文 ;

叶斐 ;

陈裕 .

中国专利 :CN112349579A ,2021-02-09

[46]

晶圆结构 [P].

罗啸 ;

姜涵 .

中国专利 :CN220796741U ,2024-04-16

[47]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

金京宰 .

中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06

[48]

晶圆载盘及晶圆承载装置 [P].

何正鸿 ;

李利 ;

李永帅 ;

张成 .

中国专利 :CN222927443U ,2025-05-30

[49]

晶圆处理方法及晶圆处理装置 [P].

王剑平 ;

陈建宏 ;

篮国玮 ;

操津津 .

中国专利 :CN113707543A ,2021-11-26

[50]

晶圆限位装置及晶圆限位套件 [P].

王闯 ;

孙金召 ;

睢少泽 ;

姜仔达 ;

陈静 .

中国专利 :CN222672998U ,2025-03-25

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