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晶圆限位装置及晶圆限位套件
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420323492.7
申请日：
2024-02-21
公开(公告)号：
CN222672998U
公开(公告)日：
2025-03-25
发明(设计)人：
王闯
孙金召
睢少泽
姜仔达
陈静
申请人：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
周志斌
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-25 | 授权 | 授权 |