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晶圆盒及其限位装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410186782.6
申请日：
2024-02-20
公开(公告)号：
CN120545228A
公开(公告)日：
2025-08-26
发明(设计)人：
翁连波
申请人：
耀连科技股份有限公司
申请人地址：
中国台湾高雄市鸟松区大昌路470号1楼
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240220 |
| 2025-08-26 | 公开 | 公开 |