限位装置及晶圆检测设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121199878.4

申请日：

2021-05-31

公开(公告)号：

CN214538018U

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

钟荣斌郭向荣袁波郭靖徐大超张毓盛张韶轩

申请人：

申请人地址：

523330 广东省东莞市石排镇庙边王石岗路22号

IPC主分类号：

G01D2100

IPC分类号：

G01D1116

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

王雪莎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

移动旋转装置及晶圆检测设备 [P].

谢越森 ;

钟荣斌 ;

袁波 ;

张毓盛 ;

徐大超 ;

郭靖 ;

张韶轩 .

中国专利 :CN214749862U ,2021-11-16

[2]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN212967612U ,2021-04-13

[3]

晶圆限位装置及晶圆限位套件 [P].

王闯 ;

孙金召 ;

睢少泽 ;

姜仔达 ;

陈静 .

中国专利 :CN222672998U ,2025-03-25

[4]

晶圆检测设备 [P].

郭向荣 ;

谢越森 ;

袁波 ;

张毓盛 ;

徐大超 ;

郭靖 ;

张韶轩 .

中国专利 :CN214844892U ,2021-11-23

[5]

晶圆承载装置及晶圆检测设备 [P].

张贝 .

中国专利 :CN216926626U ,2022-07-08

[6]

晶圆装载装置及晶圆检测设备 [P].

曾安 ;

唐寿鸿 ;

陈建强 ;

朱充 .

中国专利 :CN114743912A ,2022-07-12

[7]

晶圆承载装置及晶圆检测设备 [P].

张禧晨 ;

许鸿亮 .

中国专利 :CN223206254U ,2025-08-08

[8]

一种晶圆加热装置及晶圆检测设备 [P].

谢世敏 ;

陶靖飞 .

中国专利 :CN217903076U ,2022-11-25

[9]

一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 [P].

曾凡贵 .

中国专利 :CN217359573U ,2022-09-02

[10]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

郭宏雁 ;

杨轩 ;

胡文龙 ;

王俊夫 ;

马驰 .

中国专利 :CN120895487A ,2025-11-04

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