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吸盘及晶圆手臂
被引：0
申请号：
CN202222455707.4
申请日：
2022-09-16
公开(公告)号：
CN218241799U
公开(公告)日：
2023-01-06
发明(设计)人：
王明阳
申请人：
申请人地址：
201318 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区沧海路2728、2828号7幢
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
袁微微
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-06 | 授权 | 授权 |