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晶圆吸盘及半导体处理设备
被引：0
申请号：
CN202211119304.0
申请日：
2022-09-14
公开(公告)号：
CN115513114A
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
吴长安
马力
钱柯
郑子企
申请人：
申请人地址：
226004 江苏省南通市崇川路288号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226
代理人：
李明;赵吉阳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-23 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20220914 |