吸盘及晶圆手臂

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申请号
CN202222455707.4
申请日
2022-09-16
公开(公告)号
CN218241799U
公开(公告)日
2023-01-06
发明(设计)人
王明阳
申请人
申请人地址
201318 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区沧海路2728、2828号7幢
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
袁微微
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[21]
机械手臂及晶圆处理设备 [P]. 
周亚勇 ;
陈伏宏 ;
刘家桦 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN209496828U ,2019-10-15
[22]
机械手臂及晶圆处理装置 [P]. 
夏威 ;
韩斌 ;
辛君 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN210633703U ,2020-05-29
[23]
晶圆磨削方法及晶圆 [P]. 
李官志 ;
杨轩毅 ;
刘普然 .
中国专利 :CN118404399A ,2024-07-30
[24]
夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置 [P]. 
张邵杭 ;
沈雪松 ;
屈文晶 .
中国专利 :CN221977868U ,2024-11-08
[25]
晶圆及识别装置 [P]. 
侯天宇 ;
龙海凤 ;
周杰 ;
田茂 .
中国专利 :CN208954938U ,2019-06-07
[26]
晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备 [P]. 
刘亮辉 ;
许崇毅 ;
肖蕴章 ;
陈炳安 ;
钟国仿 .
中国专利 :CN223427476U ,2025-10-10
[27]
晶圆固定装置及晶圆磨边装置 [P]. 
黄飞鹏 ;
陈秋绘 ;
赵树明 ;
何宇昆 ;
农利锦 .
中国专利 :CN222986534U ,2025-06-17
[28]
一种晶圆手臂 [P]. 
杨小雄 .
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[29]
晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手 [P]. 
李继忠 ;
李述周 ;
朱春 .
中国专利 :CN212947867U ,2021-04-13
[30]
一种晶圆吸盘及晶圆固定装置 [P]. 
郭俊超 ;
胡中堂 ;
刘丹 .
中国专利 :CN221352735U ,2024-07-16