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吸盘及晶圆手臂
被引:0
申请号
:
CN202222455707.4
申请日
:
2022-09-16
公开(公告)号
:
CN218241799U
公开(公告)日
:
2023-01-06
发明(设计)人
:
王明阳
申请人
:
申请人地址
:
201318 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区沧海路2728、2828号7幢
IPC主分类号
:
H01L21683
IPC分类号
:
代理机构
:
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
:
袁微微
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-01-06
授权
授权
共 50 条
[21]
机械手臂及晶圆处理设备
[P].
周亚勇
论文数:
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周亚勇
;
陈伏宏
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陈伏宏
;
刘家桦
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刘家桦
;
叶日铨
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叶日铨
.
中国专利
:CN209496828U
,2019-10-15
[22]
机械手臂及晶圆处理装置
[P].
夏威
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夏威
;
韩斌
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韩斌
;
辛君
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辛君
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN210633703U
,2020-05-29
[23]
晶圆磨削方法及晶圆
[P].
李官志
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芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
李官志
;
杨轩毅
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
杨轩毅
;
刘普然
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
刘普然
.
中国专利
:CN118404399A
,2024-07-30
[24]
夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置
[P].
张邵杭
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芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
张邵杭
;
沈雪松
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
沈雪松
;
屈文晶
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
屈文晶
.
中国专利
:CN221977868U
,2024-11-08
[25]
晶圆及识别装置
[P].
侯天宇
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侯天宇
;
龙海凤
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龙海凤
;
周杰
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周杰
;
田茂
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田茂
.
中国专利
:CN208954938U
,2019-06-07
[26]
晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备
[P].
刘亮辉
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机构:
纳设智能装备(江苏)有限公司
纳设智能装备(江苏)有限公司
刘亮辉
;
许崇毅
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纳设智能装备(江苏)有限公司
纳设智能装备(江苏)有限公司
许崇毅
;
肖蕴章
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纳设智能装备(江苏)有限公司
纳设智能装备(江苏)有限公司
肖蕴章
;
陈炳安
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纳设智能装备(江苏)有限公司
纳设智能装备(江苏)有限公司
陈炳安
;
钟国仿
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机构:
纳设智能装备(江苏)有限公司
纳设智能装备(江苏)有限公司
钟国仿
.
中国专利
:CN223427476U
,2025-10-10
[27]
晶圆固定装置及晶圆磨边装置
[P].
黄飞鹏
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
黄飞鹏
;
陈秋绘
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
陈秋绘
;
赵树明
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比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
赵树明
;
何宇昆
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比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
何宇昆
;
农利锦
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机构:
比亚迪股份有限公司
比亚迪股份有限公司
农利锦
.
中国专利
:CN222986534U
,2025-06-17
[28]
一种晶圆手臂
[P].
杨小雄
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杨小雄
.
中国专利
:CN207282476U
,2018-04-27
[29]
晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手
[P].
李继忠
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李继忠
;
李述周
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李述周
;
朱春
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朱春
.
中国专利
:CN212947867U
,2021-04-13
[30]
一种晶圆吸盘及晶圆固定装置
[P].
郭俊超
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机构:
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
郭俊超
;
胡中堂
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机构:
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
胡中堂
;
刘丹
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机构:
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
刘丹
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中国专利
:CN221352735U
,2024-07-16
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