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一种晶圆吸盘

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422869193.6
申请日：
2024-11-25
公开(公告)号：
CN223743628U
公开(公告)日：
2025-12-30
发明(设计)人：
王龙 周仁 颜廷壮
申请人：
上海鲲游科技有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区临港新片区江山路2699号4号厂房西区
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
四川省 攀枝花市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-30 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆吸盘 [P]. 
张朝前 ;
马砚忠 ;
李少雷 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN208336180U ,2019-01-04
[2]
晶圆吸盘 [P]. 
邱晓明 .
中国专利 :CN222300649U ,2025-01-03
[3]
晶圆吸盘 [P]. 
闫傲 ;
许文泽 ;
郭享 .
中国专利 :CN220651988U ,2024-03-22
[4]
晶圆吸盘 [P]. 
张朝前 ;
马砚忠 ;
李少雷 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN208336179U ,2019-01-04
[5]
一种晶圆承载吸盘 [P]. 
陈松涛 ;
郑自菲 ;
董和平 .
中国专利 :CN220306236U ,2024-01-05
[6]
一种晶圆静电吸盘 [P]. 
尹国君 ;
杨占山 .
中国专利 :CN223390532U ,2025-09-26
[7]
一种晶圆承载吸盘 [P]. 
李帅龙 ;
白龙 .
中国专利 :CN216928533U ,2022-07-08
[8]
一种半导体晶圆吸盘 [P]. 
贺武峰 ;
吴想 .
中国专利 :CN213150748U ,2021-05-07
[9]
一种半导体晶圆吸盘 [P]. 
戴文海 .
中国专利 :CN211788958U ,2020-10-27
[10]
一种晶圆产品双面吸盘 [P]. 
吴怡平 ;
卜志超 ;
何鑫 ;
陈跃华 .
中国专利 :CN223612402U ,2025-11-28
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