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一种晶圆承载吸盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321719370.1
申请日：
2023-07-03
公开(公告)号：
CN220306236U
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
陈松涛
郑自菲
董和平
申请人：
郑州轨道交通信息技术研究院
申请人地址：
450000 河南省郑州市高新技术产业开发区翠竹街6号11号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/687
代理机构：
郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173
代理人：
文慧君
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 授权 | 授权 |