蓝宝石基氮化物芯片的划片方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310108068.3

申请日：

2003-10-21

公开(公告)号：

CN1529347A

公开(公告)日：

2004-09-15

发明(设计)人：

徐军蒋成勇周圣明杨卫桥周国清王银珍彭观良邹军刘士良张俊计邓佩珍

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

H01L21301

IPC分类号：

H01S500 H01L3300 B23K2638

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-09-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法 [P].

徐军 ;

彭观良 ;

周圣明 ;

周国清 ;

蒋成勇 ;

王海丽 ;

李抒智 ;

赵广军 ;

张俊计 ;

刘军芳 ;

邹军 ;

王银珍 ;

吴锋 ;

庄漪 .

中国专利 :CN1292495C ,2004-11-10

[2]

从氮化物倒装芯片激光去除蓝宝石 [P].

布里翁·S·谢尔顿 ;

塞巴斯蒂安·利博 ;

伊万·埃利亚舍维奇 .

中国专利 :CN1918691A ,2007-02-21

[3]

蓝宝石衬底、使用该蓝宝石衬底的氮化物半导体发光元件及氮化物半导体发光元件的制造方法 [P].

罗伯特·大卫·阿米蒂奇 ;

近藤行广 ;

平山秀树 .

中国专利 :CN101528991B ,2009-09-09

[4]

以蓝宝石为基板的氮化物基半导体装置 [P].

李志翔 ;

吴东海 .

中国专利 :CN202009028U ,2011-10-12

[5]

色心蓝宝石衬底的制备方法 [P].

蒋成勇 ;

徐军 ;

周圣明 ;

杨卫桥 ;

周国清 ;

王银珍 ;

彭观良 ;

邹军 ;

刘士良 ;

张俊计 ;

邓佩珍 .

中国专利 :CN1540718A ,2004-10-27

[6]

蓝宝石基板及氮化物半导体发光元件 [P].

成田准也 ;

冈田卓也 ;

若井阳平 ;

井上芳树 ;

佐幸直也 ;

家段胜好 .

中国专利 :CN106067501B ,2016-11-02

[7]

去除GaN基LED芯片蓝宝石衬底的方法 [P].

江忠永 ;

田洪涛 ;

张向飞 ;

徐瑾 .

中国专利 :CN101872814A ,2010-10-27

[8]

一种以蓝宝石为基板的氮化物基半导体装置 [P].

李志翔 ;

吴东海 .

中国专利 :CN102569352A ,2012-07-11

[9]

蓝宝石衬底的划片方法和制品 [P].

傅新钧 ;

赵诗嘉 ;

应丹青 ;

郭泽文 ;

刘建森 ;

毕尊 ;

夏章艮 ;

高艳龙 .

中国专利 :CN120133747A ,2025-06-13

[10]

用于氮化物外延生长的图形蓝宝石衬底的制作方法 [P].

闫发旺 ;

高海永 ;

张扬 ;

李晋闽 ;

曾一平 ;

王国宏 ;

张会肖 .

中国专利 :CN101330002A ,2008-12-24

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