一种用于真空设备的基座加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621474670.8

申请日：

2016-12-30

公开(公告)号：

CN206441705U

公开(公告)日：

2017-08-25

发明(设计)人：

孙仁君刘彦斌刘传生谭晓华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科居里路1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H05B318

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-25	授权	授权

共 50 条

[41]

需真空设备与抽真空设备之间的联动装置 [P].

程奥博 ;

赵开乾 ;

林晓瑜 ;

何虎 .

中国专利 :CN202545209U ,2012-11-21

[42]

一种真空设备的基板加热台 [P].

周毅 ;

李国强 .

中国专利 :CN106119811A ,2016-11-16

[43]

一种真空设备及真空阀门装置 [P].

赖礼铭 ;

刘义军 ;

郭礼贤 ;

徐尔强 ;

黄致伟 ;

黄湘彬 .

中国专利 :CN221922050U ,2024-10-29

[44]

一种真空设备的基板加热台 [P].

周毅 ;

李国强 .

中国专利 :CN206089802U ,2017-04-12

[45]

用于真空设备的连接装置 [P].

P·瓦格纳 ;

G-R·P·莫瑙尼 .

中国专利 :CN102282405A ,2011-12-14

[46]

具有抽真空装置的真空设备 [P].

黄泳钊 ;

许三益 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201187459Y ,2009-01-28

[47]

真空设备检测装置 [P].

邓申奥 ;

刘晶晶 ;

成王军 ;

郑君涛 ;

李康康 .

中国专利 :CN220470185U ,2024-02-09

[48]

一种真空设备的表面抛光装置 [P].

李剑清 ;

郭海军 .

中国专利 :CN212635369U ,2021-03-02

[49]

一种用于真空设备的密封接线结构 [P].

曹兴业 ;

付剑锋 ;

刘素 .

中国专利 :CN205791353U ,2016-12-07

[50]

一种真空设备用加热组件 [P].

张座成 ;

宋扬 ;

殷海明 .

中国专利 :CN120844021A ,2025-10-28

← 1 2 3 4 5 →