共 50 条
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一种用于真空设备的基座加热装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621474670.8
申请日：
2016-12-30
公开(公告)号：
CN206441705U
公开(公告)日：
2017-08-25
发明(设计)人：
孙仁君
刘彦斌
刘传生
谭晓华
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科居里路1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H05B318
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-08-25 | 授权 | 授权 |