曝光装置、曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310228361.7

申请日：

2013-06-08

公开(公告)号：

CN103488055A

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

三宅健高木俊博

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

雒运朴

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750811118 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013102283617 申请公布日:20140101
2014-01-01	公开	公开
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616149105 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013102283617 申请日:20130608

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN105190444A ,2015-12-23

[2]

曝光方法以及曝光装置 [P].

侯广杰 ;

叶小龙 ;

王栋 ;

谢超 .

中国专利 :CN113703280A ,2021-11-26

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

李玉龙 ;

王帆 .

中国专利 :CN110967931A ,2020-04-07

[4]

曝光装置及曝光方法 [P].

山田章夫 ;

菅谷慎二 ;

黑川正树 ;

濑山雅裕 .

中国专利 :CN105739246A ,2016-07-06

[5]

曝光装置及曝光方法 [P].

五十岚晃 .

中国专利 :CN108885404B ,2018-11-23

[6]

曝光装置、曝光方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN104133347B ,2014-11-05

[7]

曝光装置用曝光头、曝光装置以及曝光方法 [P].

奥山隆志 .

日本专利 :CN118689042A ,2024-09-24

[8]

曝光方法和曝光装置 [P].

桥本博信 ;

高木俊博 ;

三宅健 .

中国专利 :CN101194210B ,2008-06-04

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

藤原朋春 ;

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101598903A ,2009-12-09

[10]

曝光装置和曝光方法 [P].

朱凤稚 .

中国专利 :CN104614951A ,2015-05-13

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