曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811161794.4

申请日：

2018-09-30

公开(公告)号：

CN110967931A

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

李玉龙王帆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180930
2020-04-07	公开	公开
2022-03-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20200407

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光装置 [P].

王耸 ;

万冀豫 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN102854756B ,2013-01-02

[2]

曝光装置及曝光方法 [P].

山田章夫 ;

菅谷慎二 ;

黑川正树 ;

濑山雅裕 .

中国专利 :CN105739246A ,2016-07-06

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

五十岚晃 .

中国专利 :CN108885404B ,2018-11-23

[4]

曝光装置、曝光方法 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN105190444A ,2015-12-23

[5]

曝光装置、曝光方法 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN103488055A ,2014-01-01

[6]

曝光装置及曝光方法 [P].

藤原朋春 ;

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101598903A ,2009-12-09

[7]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085B ,2025-04-25

[8]

曝光方法及曝光装置 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN101663619B ,2010-03-03

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

王坦 .

中国专利 :CN109581828A ,2019-04-05

[10]

曝光装置及曝光方法 [P].

樊春雷 ;

王广成 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN119439641A ,2025-02-14

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