曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910149533.5

申请日：

2005-10-31

公开(公告)号：

CN101598903A

公开(公告)日：

2009-12-09

发明(设计)人：

藤原朋春柴崎祐一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

经志强;杨林森

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-09	公开	公开
2010-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101628023235 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009101495335 申请公布日:20091209

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085B ,2025-04-25

[2]

曝光方法及曝光装置 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN101663619B ,2010-03-03

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

王坦 .

中国专利 :CN109581828A ,2019-04-05

[4]

曝光装置及曝光方法 [P].

樊春雷 ;

王广成 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN119439641A ,2025-02-14

[5]

曝光方法及曝光装置 [P].

王耸 ;

万冀豫 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN102854756B ,2013-01-02

[6]

曝光方法及曝光装置 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 .

中国专利 :CN102834780B ,2012-12-19

[7]

曝光装置及曝光方法 [P].

宫下正弘 ;

富樫工 .

中国专利 :CN100526996C ,2009-08-12

[8]

曝光装置及曝光方法 [P].

豊田光纪 ;

谷津修 ;

竹内裕一郎 ;

蛭川茂 ;

诹访恭一 ;

中岛利治 .

中国专利 :CN1407408A ,2003-04-02

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

森田亮 .

中国专利 :CN100451842C ,2007-02-14

[10]

曝光装置及曝光方法 [P].

佐藤仁 ;

山贺胜 .

中国专利 :CN101377624A ,2009-03-04

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