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曝光方法及曝光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210284403.4
申请日：
2012-08-06
公开(公告)号：
CN102854756B
公开(公告)日：
2013-01-02
发明(设计)人：
王耸
万冀豫
吴洪江
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
李娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395929038 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012102844034 申请日:20120806 |
| 2013-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2014-10-22 | 授权 | 授权 |
| 2022-07-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120806 授权公告日:20141022 终止日期:20210806 |