一种获得高质量AlN模板的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710887680.7

申请日：

2017-09-27

公开(公告)号：

CN107768234A

公开(公告)日：

2018-03-06

发明(设计)人：

黎大兵贲建伟孙晓娟贾玉萍刘贺男宋航陈一仁蒋红

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21324

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210

代理人：

南小平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20170927
2021-03-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20180306
2018-03-06	公开	公开

共 50 条

[1]

极性可控的高质量AlN模板制备方法 [P].

刘志彬 ;

郭亚楠 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111676451A ,2020-09-18

[2]

高质量低应力AlN图形模板的制备方法 [P].

郭亚楠 ;

刘志彬 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111710594A ,2020-09-25

[3]

一种高质量AlN薄膜及其制作方法和应用 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

罗添友 .

中国专利 :CN117926181A ,2024-04-26

[4]

高质量AlN模板的应力与晶圆翘曲控制方法 [P].

刘志彬 ;

郭亚楠 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111710595A ,2020-09-25

[5]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159B ,2024-08-23

[6]

一种Si衬底上高质量AlN薄膜材料的制备方法 [P].

杨学林 ;

沈波 ;

陈正昊 ;

吴俊慷 ;

蔡子东 ;

杨鸿才 ;

郭富强 .

中国专利 :CN118127637A ,2024-06-04

[7]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159A ,2024-07-26

[8]

一种高质量AlN及其制备方法和应用 [P].

许福军 ;

沈波 ;

解楠 ;

王明星 ;

孙元浩 ;

刘百银 ;

王新强 ;

秦志新 .

中国专利 :CN108364852A ,2018-08-03

[9]

一种高质量AlN薄膜材料及其制备方法 [P].

孙秀建 ;

黄应南 ;

孙钱 ;

魏永强 ;

许奇明 ;

沈雁伟 .

中国专利 :CN119287520A ,2025-01-10

[10]

一种高质量AlN外延薄膜及其制备方法和应用 [P].

许福军 ;

沈波 ;

王明星 ;

王嘉铭 ;

康香宁 ;

秦志新 .

中国专利 :CN109994377A ,2019-07-09

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