一种高质量AlN及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810058645.9

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108364852A

公开(公告)日：

2018-08-03

发明(设计)人：

许福军沈波解楠王明星孙元浩刘百银王新强秦志新

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3300

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王文君;陈征

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20180122
2021-03-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20180803
2018-08-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高质量AlN外延薄膜及其制备方法和应用 [P].

许福军 ;

沈波 ;

解楠 ;

王明星 ;

孙元浩 ;

刘百银 ;

秦志新 .

中国专利 :CN108155090A ,2018-06-12

[2]

一种高质量AlN外延薄膜及其制备方法和应用 [P].

许福军 ;

沈波 ;

王明星 ;

王嘉铭 ;

康香宁 ;

秦志新 .

中国专利 :CN109994377A ,2019-07-09

[3]

一种高质量AlN薄膜及其制作方法和应用 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

罗添友 .

中国专利 :CN117926181A ,2024-04-26

[4]

高质量氮化铝模板及其制备方法和应用 [P].

张纪才 ;

刘婷 .

中国专利 :CN114203535B ,2022-03-18

[5]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159B ,2024-08-23

[6]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159A ,2024-07-26

[7]

一种获得高质量AlN模板的方法 [P].

黎大兵 ;

贲建伟 ;

孙晓娟 ;

贾玉萍 ;

刘贺男 ;

宋航 ;

陈一仁 ;

蒋红 .

中国专利 :CN107768234A ,2018-03-06

[8]

一种高质量土壤调节剂及其制备方法和应用 [P].

朱惠明 .

中国专利 :CN105859475A ,2016-08-17

[9]

一种高质量单晶氮化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

李国强 .

中国专利 :CN113463199A ,2021-10-01

[10]

一种高质量钪铝氮薄膜及其制备方法和应用 [P].

贺钟冶 ;

张立胜 .

中国专利 :CN120758827A ,2025-10-10

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