极性可控的高质量AlN模板制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010600481.5

申请日：

2020-06-28

公开(公告)号：

CN111676451A

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

刘志彬郭亚楠闫建昌李晋闽王军喜

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1435 C23C1458

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

孙蕾

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/06 申请公布日:20200918
2020-09-18	公开	公开
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20200628

共 50 条

[1]

高质量低应力AlN图形模板的制备方法 [P].

郭亚楠 ;

刘志彬 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111710594A ,2020-09-25

[2]

一种获得高质量AlN模板的方法 [P].

黎大兵 ;

贲建伟 ;

孙晓娟 ;

贾玉萍 ;

刘贺男 ;

宋航 ;

陈一仁 ;

蒋红 .

中国专利 :CN107768234A ,2018-03-06

[3]

一种高质量AlN外延薄膜及其制备方法和应用 [P].

许福军 ;

沈波 ;

王明星 ;

王嘉铭 ;

康香宁 ;

秦志新 .

中国专利 :CN109994377A ,2019-07-09

[4]

高质量氮化铝模板及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

李泰 ;

王钇心 ;

李铎 ;

万文婷 .

中国专利 :CN113897678A ,2022-01-07

[5]

高质量AlN模板的应力与晶圆翘曲控制方法 [P].

刘志彬 ;

郭亚楠 ;

闫建昌 ;

李晋闽 ;

王军喜 .

中国专利 :CN111710595A ,2020-09-25

[6]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159B ,2024-08-23

[7]

一种低应力高质量AlN薄膜的制备方法 [P].

王充 ;

侯杰 ;

张童 ;

张晓娜 .

中国专利 :CN118390159A ,2024-07-26

[8]

一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

王钇心 ;

李泰 ;

万文婷 .

中国专利 :CN113913750A ,2022-01-11

[9]

极性交替AlN模板的制备方法 [P].

郭亚楠 ;

蔡听松 ;

刘志彬 ;

闫建昌 ;

王军喜 .

中国专利 :CN113539791B ,2024-02-27

[10]

极性交替AlN模板的制备方法 [P].

郭亚楠 ;

蔡听松 ;

刘志彬 ;

闫建昌 ;

王军喜 .

中国专利 :CN113539791A ,2021-10-22

← 1 2 3 4 5 →